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“战略性先进电子材料”重点专项“高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片研发”项目中期检查在乌鲁木齐进行

发布时间: 2019-10-15 11:20:07   作者:刘艺超   来源:本站编辑   浏览次数:


    近日,“战略性先进电子材料”重点专项管理办公室(简称“专项办”)组织专家在新疆乌鲁木齐“高性能无源敏感薄膜材料Si基异质异构集成方法及传感器芯片研发”项目进行中期检查。专项办有关人员,项目责任专家、同行专家和财务专家,电子科技大学、中国科学院新疆理化技术研究所、中国电子科技集团第二十六研究所等单位的项目及课题负责人、课题研究骨干等共50余人参加了会议。
    本项目的主要目标是针对传感技术发展对器件小型化、集成化、智能化的迫切需求,研究高性能无源敏感薄膜材料、传感器与集成电路可兼容三维集成等关键技术,建立影响敏感材料和器件性能的多物理场耦合模型,突破硅基晶圆上无源敏感薄膜及器件的可控制备技术,研制出磁阻、气体、海洋测温传感器等传感器芯片,促进传感技术在工业控制、海洋水文、安全生产等领域的应用。
    会议认为,该项目完成了任务书的中期预定目标,在晶圆级薄膜异质生长、离子注入剥离,单晶薄膜微细加工与器件集成,传感器芯片设计与生产等方面取得了重要进展。会议建议围绕指标相关性和系统性,进一步完善测试方案和方法,形成指标测试标准,开展专项项目之间学术交流活动。 

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